Ta Sputter Target

1. Dimenzija: promjer 50-400 mm X debljina 3-28 mm
2.Ocjena:R05200 R05400 R05252 (Ta-2.5W) R05255 (Ta-10W)
3. Čistoća: veća ili jednaka 99,95% (maksimalno 99,99%)
4. Rekristalizacija: Minimalno 95%
5. Veličina zrna: Minimalno 40 um
6. Hrapavost površine: Maksimalni Ra0.4
7. Ravnost:0.1 mm ili maksimalno 0.10%
8. Tolerancija: promjer +/-0.254 mm

Pošaljite upit

Uvod u proizvod

Yusheng proces proizvodnje mete raspršene metalnim tantalom
Tantalni metni proizvodi Yusheng Metala obrađuju se od ingota tantala pomoću EB bombardiranja elektronima, procesa valjanja i žarenja. Mete izrađene ovim postupkom imaju ujednačenu kristalnu strukturu, teksturu i raspodjelu energije, a unutarnju strukturu imaju dobru.

Posljednjih godina, opseg industrije IC (integriranih sklopova) nastavio se širiti, a tehnologija obrade čipova također se razvila u smjeru visoke gustoće. Tantal se često koristi kao materijal za premazivanje prskanjem za sloj difuzijske barijere u procesu spajanja bakra zbog svoje jake kemijske stabilnosti. Ujednačena mikrostruktura tantalnih meta za raspršivanje ima izravan utjecaj na performanse raspršivanja.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). Kod proizvodnje tankih filmova, brzina raspršivanja se mijenja ovisno o debljini cilja, što utječe na stabilnost procesa raspršivanja.

Ta princip raspršivanja cilja

Tantal se često koristi u proizvodnji elektrolitskih kondenzatora zbog svoje sposobnosti stvaranja tankih oksida i zaštitne prirode oksidnog sloja. Isparavanje se koristilo u ranim fazama taloženja tantala, ali kako su se tehnike fizičkog taloženja parom, kao što je raspršivanje, pojavile kasnih 1960-ih kao superiorne metode za taloženje tankog filma, zamijenile su isparavanje.

U procesu fizičkog taloženja iz pare, ionizirani atomi argona koriste elektromagnetsku mehaniku kako bi udarili na metu, obarajući metalne ciljne atome, a metalni ciljni atomi talože se na podlogu kako bi formirali tanki film.

meta za raspršivanje tantala

tantalska meta

Yusheng oprema za proizvodnju metala

Yusheng Metal ima kompletan skup znanstvenog istraživanja, proizvodnje, testiranja, prodaje i servisnih sustava od taljenja, kovanja, toplog valjanja, hladnog valjanja, završne obrade do gotovih materijala. Ima 350KW elektroničku istočnu peć za bombardiranje, 2000T hidrauličku prešu, 1700mm vakuumsku peć za žarenje, te jedan 42KW i dva 15KW stroja za precizno kovanje, 14 glodalica za završnu obradu traka, LDD120, LDD-40, LDD{{8} }, LDD-8 dvostruka valjaonica cijevi, 2-roll 500T valjaonica, 4 mlina za hladno valjanje, 6 mlina za hladno valjanje Stroj, 15KW dvostrani stroj za izvlačenje žice, cilindrična brusilica, stroj za guljenje, površinska brusilica i niz opreme.

product-1477-390

product-1447-391

product-1446-408

Primjena mete za raspršivanje tantala

Materijal mete za raspršivanje tantala izrađen je od ploča tantala obrađenih pod tlakom i ima karakteristike visoke čistoće, finih zrna, dobre rekristalizacijske strukture i dobre konzistencije u tri osi.
Tantalske mete za raspršivanje naširoko se koriste u optoelektroničkoj industriji i industriji poluvodiča. Uglavnom se koriste za nanošenje raspršivanjem katodnih raspršivača prevlaka, aktivnih materijala visokog vakuuma, optičkih vlakana, poluvodičkih pločica, integriranih krugova itd. Važan su dio tehnologije tankog filma.

202303061121351610a9b7fc6b401bb34eaf1612b007bd

Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.globalni je dobavljač dijelova za obradu rijetkog zlata tantala, niobija, vanadija, cirkonija i hafnija. Uglavnom proizvodi žice, šipke, ploče, cijevi, prstenove, lončiće itd. i druge nestandardne dijelove za specijalnu obradu. Redovito ćemo objavljivati informacije vezane uz proizvode i materijale naše tvrtke, pokrivajući cijeli lanac istraživanja i razvoja tehnologije materijala, industrijalizaciju materijalnih dostignuća, primjenu i promociju materijalnih proizvoda, aglomeraciju industrije materijala i ekologiju industrije materijala. Slobodno nas kontaktirajte u bilo koje vrijeme.