Pojam "cilja za raspršivanje" opisuje izvor raspršivanja koji se raspršuje i taloži na podlogu magnetronskim raspršivanjem, ionskim nanošenjem u više lukova ili drugim vrstama opreme za premazivanje pod odgovarajućim uvjetima procesa za stvaranje različitih funkcionalnih tankih filmova. Mete za raspršivanje su opsežno koristi se u raznim industrijama, uključujući solarne ćelije, ravne zaslone, poluvodiče, elektroniku ravnih ploča, alate, staklo i dekorativne primjene. U raznim područjima potrebni su različiti ciljni materijali.
Postavljanje goruće mete
Prema postupku, priprema materijala za mete za prskanje može se podijeliti u dvije kategorije: metalurgija praha i lijevanje taline. Okolnosti pod kojima se materijal zagrijava tijekom procesa toplinske obrade kao i naknadne tehnike obrade moraju se pažljivo kontrolirati uz čistoću, gustoću, veličinu zrna i kristalnu orijentaciju materijala. kontrolirati.
1. Obrada metala prahovima
Za uspješnu pripremu meta pomoću metalurgije praha važno je: (1) odabrati prah visoke čistoće i ultrafini kao sirovine; (2) odabrati tehnologiju oblikovanja i sinteriranja koja može postići brzo zgušnjavanje kako bi se osigurala niska poroznost cilja i kontrolirala veličina zrna; i (3) strogo pratiti uvođenje nečistoća.
2. Pristup lijevanju taljenjem
Jedna od temeljnih tehnika za stvaranje meta za raspršivanje je proces lijevanja taljenjem. Taljenje i lijevanje ingota obično se obavlja pod vakuumom ili zaštitnom atmosferom kako bi se osiguralo da je sadržaj nečistoće što je moguće niži. Međutim, određena količina poroznosti unutar materijalni okvir je neizbježan tijekom procesa lijevanja. Na kvalitetu raspršenog filma utjecat će ove pore jer će uzrokovati raspršivanje čestica tijekom procesa raspršivanja. Da bi se smanjila njegova propusnost, potrebna je dodatna toplinska obrada i postupci toplinske obrade.
