Postoje mnoge vrste meta za raspršivanje, zahtjevi visoke čistoće i širok raspon industrija primjene. Danas ćemo govoriti o četiri vrste meta za prskanje koje se obično koriste u četiri polja, mete od aluminija visoke čistoće, mete od titana, mete od tantala i mete od volframa. Meta od titana. Područja koja pokrivaju uključuju ravne zaslone, poluvodiče, pohranu i solarne ćelije.
Aluminijska meta (čistoća 99,99 posto - 99,999 posto)
Aluminij visoke čistoće i njegove legure jedan su od najčešće korištenih vodljivih tankoslojnih materijala. U svom području primjene, proizvodnja VLSI čipova zahtijeva raspršivanje ciljanih metala vrlo visoke čistoće, obično čak 99,9995 posto, dok ravni zasloni i solarne ćelije imaju nešto nižu čistoću metala.
Titanijska meta (čistoća zaliha 99,99 posto - 99.999 posto)
Titan je jedan od često korištenih materijala barijernog filma u VLSI čipovima (odgovarajući materijal vodljivog sloja je aluminij). Titanska meta koristit će se s titanskim prstenom tijekom izrade prije čipa. Glavna funkcija je pomoć u procesu raspršivanja titanskih meta, koji se uglavnom koristi u području proizvodnje čipova s integriranim krugom ultra velikih razmjera.
Meta od titanovog volframa (čistoća 99,95 posto)
Legure volfram-titan imaju nisku pokretljivost elektrona, stabilna termomehanička svojstva, dobru otpornost na koroziju i dobru kemijsku stabilnost. Posljednjih godina, mete za prskanje od legure volframa i titana korištene su kao materijali za kontaktne slojeve za sklopove vrata poluvodičkih čipova. Osim toga, mete od volframa i titana također se mogu koristiti kao barijerni slojevi u metalnom spoju poluvodičkih uređaja. Za okruženja s visokim temperaturama, uglavnom za vlsI i solarne ćelije.
Cilj tantala (čistoća 99 posto, 99,5 posto, 99,9 posto, 99,995 posto, 99,99 posto, 99,995 posto, 99,999 posto)
S eksplozivnim rastom potražnje za potrošačkim elektroničkim proizvodima kao što su pametni telefoni i tablet računala, potražnja za vrhunskim čipovima značajno je porasla, a tantal je postao popularan mineralni resurs. Međutim, nedostatak resursa tantala čini mete od tantala visoke čistoće skupima, koje se uglavnom koriste u velikim integriranim krugovima i drugim područjima.
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. je visokotehnološko poduzeće specijalizirano za proizvodnju i prodajuraspršujuće mete od tantalai vatrostalni materijali od obojenih metala. Proizvodi se široko koriste u naftnoj, kemijskoj, elektroničkoj, zanatskoj industriji, proizvodnji strojeva, medicinskoj opremi i drugim područjima. Proizvodi se izvoze u zemlje u zemlji i inozemstvu.
