Koje vrste ciljanih materijala postoje - prvi dio

Koji su ciljni materijali?

Cilj je zapravo širok pojam. Postoje tri načina za klasificiranje ciljnih materijala:

1. Prema vanjskim dimenzijama, može se podijeliti na cilindrične, pravokutne, kvadratne ploče i cijevne mete. Prema materijalu, ciljni materijali mogu se podijeliti na metalne mete, polimer keramičke nemetalne mete i mete od legura itd.;

2. Prema materijalu, ciljni materijali se mogu podijeliti na konvencionalne metalne mete, mete od plemenitih metala, mete od rijetkih zemnih metala, mete od nemetala, mete za prskanje od legura, mete za prskanje od keramike itd.;

3. Prema području primjene, može se podijeliti na mete za poluvodiče, mete za zaslonske ploče, mete za solarne ćelije, mete za magnetsko snimanje itd.

Klasifikacija prema obliku cilja

Uobičajene mete su uglavnom četvrtaste i okrugle mete, koje su čvrste mete. U postupku presvlačenja, magnetsko polje koje generira kružni trajni magnet na površini mete je prstenasto, doći će do neravnomjerne erozije, ujednačenost debljine raspršenog filma nije dobra, a učinkovitost iskorištenja mete je samo oko 20 % do 30 %. Šuplja cijevna meta koja se trenutno promiče može se okretati oko sklopa fiksnog šipkastog magneta određeno vrijeme, a površina mete od 360 stupnjeva može biti ravnomjerno urezana, što ima očite prednosti i povećava stopu iskorištenja na 80%.

Klasifikacija prema ciljnom materijalu

Konvencionalne metalne mete: