1. Izrežite ingot vanadija potrebne čistoće u skladu s ciljnom veličinom pomoću horizontalnog stroja za piljenje, prethodno zagrijte na 450-500 stupnjeva, zatim kovajte i kontrolirajte ukupnu stopu deformacije kovanja na 70-80%;
2. Žariti kovani ingot vanadija na temperaturi od 400-500 stupnjeva i vremenu držanja od 60-120 min, a zatim ga ohladiti hlađenjem zrakom;
3. Zakotrljajte žareni ingot vanadija i kontrolirajte količinu prešanja u svakom prolazu na 0.5-1 mm i kontrolirajte ukupnu deformaciju na 70-80%, sve dok ne dobijete vanadij ciljni komad dobiva se potreban promjer i debljina;
4. Ponovo žarite valjani uzorak mete od vanadija na temperaturi od 450-550 stupnjeva i vremenu zadržavanja od 90-150 min. Nakon ponovnog žarenja, ohladite ga vodom kako biste dobili potrebnu slijepu probu vanadija visoke čistoće.
Ovako pripremljena vanadijeva meta ne samo da ima ujednačenu unutarnju strukturu, već ima i prednost finih zrna.
Ciljani materijal mora biti visoke čistoće, manje nečistoća, ujednačenog kemijskog sastava, bez segregacije, bez pora, jednolike strukture zrna i veličine zrna od mikrometra do milimetra. Razlika u veličini zrna u jednoj meti za raspršivanje mora biti što manja. Na ovaj način, nije lako proizvesti fenomen pražnjenja u magnetronskom raspršivanju, a film magnetronskog raspršivanja je ujednačen.
Primjena vanadijeve mete
Koristi se u područjima solarne energije, ravnih zaslona, elektronike i poluvodiča, kao što su integrirani krugovi, metalizacija zadnje ploče, optoelektronika i druge primjene.
