Vjerujem da svatko ima neko znanje o ciljevima premazivanja. Prolazi kroz sustav premaza. Tvrdo obložene mete sada su nešto što razumijemo. Završnu fazu za sve sažima urednik.
Dizajn sastava cilja, transformacija kristalne strukture cilja, priprema cilja, poboljšanje procesa i optimizacija ponašanja prskanja cilja četiri su trenutna četiri ključna područja od interesa za istraživanje meta premaza za tvrde premaze. Danas ćemo se usredotočiti na optimizaciju ponašanja mete prskanjem, završna faza procesa nanošenja tvrdog premaza.
Zapošljavanje mete u procesu premazivanja trebalo bi biti jedini fokus istraživanja mete. Meta se nalazi u vakuumskoj komori tijekom procesa pripreme premaza s vrlo složenim stanjem plazme, što uzrokuje eroziju metala mete. Plazma ima utjecaj na putanju atoma. Kako bi se cilj održao u stabilnom i dobrom stanju tijekom konstrukcije, ključno je optimizirati proces premazivanja. Stopa erozije cilja i gubitak raspršenih atoma tijekom putovanja raspršenog atoma na podlogu tijekom procesa nanošenja magnetronskog raspršivanja mete od legure.
Gustoća ionske struje i meta miniranja imaju najviše utjecaja na učinak raspršivanja mete. Gubitak kuta i gubitak raspršenja dva su primarna tipa ionske energije, gubitak raspršenog atoma. Gustoća i energija čestica koje napadaju metu mogu se promijeniti promjenom struje mete. Trovanje mete može se učiniti učinkovitijim podešavanjem parcijalnog tlaka dušika. Brzina kojom se metalni atomi kreću prema supstratu može se učinkovito kontrolirati podešavanjem pristranosti supstrata. Kako bi se pripremila prevlaka više kvalitete, ciljni materijal se može bolje prilagoditi okolini vakuumske komore za oblaganje reguliranjem parametara procesa.
Možemo imati koristi od činjenice da je brzi rast elektroničke industrije potaknuo značajan napredak u brojnim susjednim poslovima. Napredak znanosti i tehnologije vođen je vremenom. Objektivi s tvrdim premazom jedni su od glavnih pobjednika, uz nas.
