Područja primjene tantalnih ciljnih materijala

Uglavnom se koristi u fizičkom taloženju parom i drugim procesima, tijekom procesa raspršivanja, atomi na površini tantalove mete se bombardiraju i talože u obliku tankog filma na podlogu kako bi se dobio željeni materijal tankog filma.
Talište tantala je čak 2996 stupnjeva, što omogućuje tantalovim metama da zadrže dobru strukturnu stabilnost u okruženjima raspršivanja na visokim-temperaturama i nije ih lako deformirati ili ispariti. Gustoća je obično iznad 16,6 g/cm³, što može smanjiti probleme s pucanjem ili deformacijom tijekom raspršivanja, istovremeno smanjujući prskanje čestica i poboljšavajući kvalitetu filma. Na temperaturi raspršivanja nije lako hlapljiv, osiguravajući minimalan gubitak ciljnog materijala tijekom procesa raspršivanja i osiguravajući stabilne atome tantala za taloženje tankog filma.
Kemijska svojstva tantala su vrlo stabilna i teško reagira s drugim kiselinama osim fluorovodične kiseline i vruće koncentrirane sumporne kiseline. Također se može koristiti dugo vremena u teškim kemijskim okruženjima, a tantalov film napravljen od njega također ima dobru otpornost na koroziju. Površina tantala sklona je stvaranju gustog i stabilnog pasivizirajućeg filma tantalovog oksida, koji može učinkovito spriječiti daljnju oksidacijsku koroziju i produžiti životni vijek materijala.
Polje primjene
U proizvodnji integriranih krugova tantalni ciljni materijali koriste se za pripremu slojeva difuzijske barijere, sprječavaju difuziju bakrenih međupoveza u silikonske podloge, poboljšavaju pouzdanost i izvedbu uređaja, a mogu se koristiti i kao materijali vrata ili dio metalnih vrata za MOSFET-ove, kao i kao elektrode kondenzatora u memorijskim uređajima visoke-gustoće kao što je DRAM.
U proizvodnji zaslona s tekućim kristalima (LCD) i organskih svjetlo{0}}dioda (OLED), mete od tantala koriste se za pripremu elektroda i slojeva ožičenja tankoslojnih tranzistora (TFT). Njihova stabilnost i vodljivost pomažu u poboljšanju kvalitete prikaza. Osim toga, mogu se koristiti i kao slojevi za kapsuliranje tankog filma u OLED-ima za produljenje vijeka trajanja uređaja.
Koriste se za pripremu optičkih filmova kao što su antirefleksni premazi ili filtri, filmovi od tantala visoke-čistoće imaju ujednačen indeks loma i dobru izdržljivost, prikladni za precizne optičke instrumente kao što su leće fotoaparata i laserski uređaji. U kemijskim, naftnim, pomorskim i drugim okruženjima, anti{2}}premazi od korozije pripremljeni od tantalnih ciljnih materijala mogu učinkovito zaštititi opremu, cjevovode i spremnike od korozije.